XRD和XRF的測試機理是什麼？

謝邀。兩者原理和應用都有不同，XRD是用來測試材料晶體結構的，XRF是用來測定材料中的組分元素及含量的。

材料晶體結構可以當作天然的光柵，其晶格常數可作為光柵常數，用波長和晶格常數相當的X射線照射晶體，即可發生衍射，滿足布拉格方程，透過對衍射光的分佈、強度的分析，就可以知道所測材料的晶體結構（具體可以參考任意一本《材料現代研究方法》教材）。

XRF又叫X射線熒光光譜，是透過已知能量的X射線照射材料，材料中不同元素原子的軌道電子吸收X射線光子能量被激發到高的能級形成空位，此時原子處於亞穩態，更高能級的電子會躍遷下來填補該空位，進而釋放出光子，該光子的能量即為元素原子能級的特徵能量，透過測試釋放出光子的數目和能量，既可以知道材料中的元素種類以及相對含量。