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真空蒸鍍工藝
在高真空下加熱基片,除進一步乾燥基片外,更重要的是使基片(工件)表面吸附的氣體脫附,然後經真空泵抽氣排出真空室,有利於提高鍍膜室真空度、膜層純度和膜基結合力
2019-07-15
標簽:
基片
鍍料
蒸發
鍍膜
真空
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