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壓電微機械超聲換能器PMUT(中)器件與系統設計
圖4-3中的器件,一個12圈的環形PMUT陣列,用於產生聚焦聲波,設計頻率為260 kHz,但不同位置的振元頻率差異最大10 kHz
2021-11-30
標簽:
PMUT
振元
頻率
陣列
諧振
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