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今天講講靜電卡盤(ESC)
在有等離子體的情況下,由於直流自偏壓(self DC bias)的緣故,即使關掉被接通到直流電極(鑲嵌在吸盤的電介質中)的高壓(低流)直流電源,即在吸盤電壓為零的情況下,晶片仍然會被吸盤·吸住
2021-02-04
標簽:
吸盤
晶片
電介質
電荷
迥斯熱
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