塗膠顯影裝置是幹什麼用的

塗膠顯影裝置是在光刻工序中和光刻機配套使用的機器，主要起到塗膠、烘烤和顯影的作用。塗膠顯影裝置是積體電路生產過程中不可獲缺的裝置，能夠直接影響到光刻工序中曝光圖案的形成。

塗膠顯影裝置主要應用在晶圓生產中的前道EUV光刻中，以及後道的封測和LED製造中，在晶圓生產中起到重要作用

在全球市場中，塗膠顯影裝置市場集中度較高，主要被日本東京電子、日本迪恩士、臺灣億力鑫、德國蘇斯微、韓國CND等企業佔據，其中日本東京電子是絕對的龍頭企業，市場佔比高達88%左右。當前國內塗膠顯影裝置市場被外企佔據，東京電子、日本迪恩士兩家企業市場佔比高達96%，其中東京電子佔比在90%左右。國內企業芯源微市場佔比僅為4%。