十大VOCs廢氣處理工藝流程

VOC廢氣處理技術工藝詳解

導讀：

VOC是揮發性有機化合物（volatile organic compounds）的英文縮寫。普通意義上的VOC就是指揮發性有機物；但是環保意義上的定義是指活潑的一類揮發性有機物，即會產生危害的那一類揮發性有機物。本文詳細介紹了七種VOC廢氣處理的主要技術。

一、VOC廢氣處理技術——熱破壞法

熱破壞法是指直接和輔助燃燒有機氣體，也就是VOC，或利用合適的催化劑加快VOC的化學反應，最終達到降低有機物濃度，使其不再具有危害性的一種處理方法。

熱破壞法對於濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應用。這種方法主要分為兩種，即直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒對有機廢氣的熱處理效率相對較高，一般情況下可達到 99%。而催化燃燒指的是在催化床層的作用下，加快有機廢氣的化學反應速度。這種方法比直接燃燒用時更少，是高濃度、小流量有機廢氣淨化的首選技術。

二、VOC廢氣處理技術——吸附法

有機廢氣中的吸附法主要適用於低濃度、高通量有機廢氣。現階段，這種有機廢氣的處理方法已經相當成熟，能量消耗比較小，但是處理效率卻非常高，而且可以徹底淨化有害有機廢氣。實踐證明，這種處理方法值得推廣應用。

但是這種方法也存在一定缺陷，它需要的裝置體積比較龐大，而且工藝流程比較複雜；如果廢氣中有大量雜質，則容易導致工作人員中毒。所以，使用此方法處理廢氣的關鍵在於吸附劑。當前，採用吸附法處理有機廢氣，多使用活性炭，主要是因為活性炭細孔結構比較好，吸附性比較強。

此外，經過氧化鐵或臭氧處理，活性炭的吸附效能將會更好，有機廢氣的處理將會更加安全和有效。

三、VOC廢氣處理技術——生物處理法

生物法淨化voc廢氣是近年發展起來的空氣汙染控制技術，它比傳統工藝投資少，執行費用低，操作簡單，應用範圍廣，是最有望替代燃燒法和吸附淨化法的新技術。從處理的基本原理上講，採用生物處理方法處理有機廢氣，是使用微生物的生理過程把有機廢氣中的有害物質轉化為簡單的無機物，比如CO2、H2O和其它簡單無機物等。這是一種無害的有機廢氣處理方式。

生物淨化法實際上是利用微生物的生命活動將廢氣中的有害物質轉變成簡單的無機物（如二氧化碳和水）以及細胞物質等，主要工藝有生物洗滌法，生物過濾法和生物滴濾法。

不同成分、濃度及氣量的氣態汙染物各有其有效的生物淨化系統。生物洗滌塔適宜於處理淨化氣量較小、濃度大、易溶且生物代謝速率較低的廢氣；對於氣量大、濃度低的廢氣可採用生物過濾床；而對於負荷較高以及汙染物降解後會生成酸性物質的則以生物滴濾床為好。

生物法處理有機廢氣是一項新的技術，由於反應器涉及到氣，液，固相傳質，以及生化降解過程，影響因素多而複雜，有關的理論研究及實際應用還不夠深入廣泛，許多問題需要進一步探討和研究。

一般情況下，一個完整的生物處理有機廢氣過程包括3個基本步驟：a） 有機廢氣中的有機汙染物首先與水接觸，在水中可以迅速溶解；b） 在液膜中溶解的有機物，在液態濃度低的情況下，可以逐步擴散到生物膜中，進而被附著在生物膜上的微生物吸收；c） 被微生物吸收的有機廢氣，在其自身生理代謝過程中，將會被降解，最終轉化為對環境沒有損害的化合物質。

四、VOC廢氣處理技術——變壓吸附分離與淨化技術

變壓吸附分離與淨化技術是利用氣體組分可吸附在固體材料上的特性，在有機廢氣與分離淨化裝置中，氣體的壓力會出現一定的變化，透過這種壓力變化來處理有機廢氣。

PSA 技術主要應用的是物理法，透過物理法來實現有機廢氣的淨化，使用材料主要是沸石分子篩。沸石分子篩，在吸附選擇性和吸附量兩方面有一定優勢。在一定溫度和壓力下，這種沸石分子篩可以吸附有機廢氣中的有機成分，然後把剩餘氣體輸送到下個環節中。在吸附有機廢氣後，透過一定工序將其轉化，保持並提高吸附劑的再生能力，進而可讓吸附劑再次投入使用，然後重複上步驟工序，迴圈反覆，直到有機廢氣得到淨化。

近年來，該技術開始在工業生產中應用，對於氣體分離有良好效果。該技術的主要優勢有：能源消耗少、成本比較低、工序操作自動化及分離淨化後混合物純度比較高、環境汙染小等。使用該技術對於回收和處理有一定價值的氣體效果良好，市場發展前景廣闊，成為未來有機廢氣處理技術的發展方向。

五、VOC廢氣處理技術——氧化法

對於有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是最適合的處理技術和方法。氧化法的基本原理：VOC與O2發生氧化反應，生成CO2和H2O。

從化學反應方程式上看，該氧化反應和化學上的燃燒過程相類似，但其由於VOC濃度比較低，在化學反應中不會產生肉眼可見的火焰。一般情況下，氧化法透過兩種方法可確保氧化反應的順利進行：a） 加熱。使含有VOC的有機廢氣達到反應溫度；b） 使用催化劑。如果溫度比較低，則氧化反應可在催化劑表面進行。所以，有機廢氣處理的氧化法分為以下兩種方法：

a） 催化氧化法。現階段，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要包括Pt、Pd等，它們以細顆粒形式依附在催化劑載體上，而催化劑載體通常是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填料；非貴金屬催化劑主要是由過渡元素金屬氧化物，比如MnO2，與粘合劑經過一定比例混合，然後製成的催化劑。為有效防止催化劑中毒後喪失催化活性，在處理前必須徹底清除可使催化劑中毒的物質，比如Pb、Zn和Hg等。如果有機廢氣中的催化劑毒物、遮蓋質無法清除，則不可使用這種催化氧化法處理VOC；

b） 熱氧化法。熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在於熱量回收方式。這三種方法均能催化法結合，降低化學反應的反應溫度。

熱力燃燒式熱氧化器，一般情況下是指氣體焚燒爐。這種氣體焚燒爐由助燃劑、混合區和燃燒室三部分組成。其中，助燃劑，比如天然氣、石油等，是輔助燃料，在燃燒過程中，焚燒爐內產生的熱混合區可對VOC廢氣預熱，預熱後便可為有機廢氣的處理提供足夠空間、時間，最終實現有機廢氣的無害化處理。

在供氧充足條件下，氧化反應的反應程度——VOC去除率——主要取決於“三T條件”：反應溫度（Temperat）、時間（Time）、湍流混合情況（Turbulence）。這“三T條件”是相互聯絡的，在一定範圍內，一個條件的改善可使另外兩個條件降低。熱力燃燒式熱氧化器的缺點在於：輔助燃料價格高，導致裝置操作費用比較高。

直燃式廢氣處理爐

•所需溫度：攝氏700-800度

•對應廢氣種類：所有

•廢氣淨化效率在99。8%以上

•搭配廢氣機熱回收系統可有效降低工廠營運成本

催化式廢氣處理爐（RCO）

•所需溫度：攝氏300-400度

•根據廢氣濃度而啟動的自燃性

•系統設計利用前處理劑和觸媒清潔可延長裝置使用年限

•可在前端配置各種吸附材

RCO處理技術特別適用於熱回收率需求高的場合，也適用於同一生產線上，因產品不同，廢氣成分經常發生變化或廢氣濃度波動較大的場合。尤其適用於需要熱能回收的企業或烘乾線廢氣處理，可將能源回收用於烘乾線，從而達到節約能源的目的。

優點：工藝流程簡單、裝置緊湊、執行可靠；淨化效率高，一般均可達98%以上；與RTO相比燃燒溫度低；一次性投資低，執行費用低，其熱回收效率一般均可達85%以上；整個過程無廢水產生，淨化過程不產生NOX等二次汙染；RCO淨化裝置可與烘房配套使用，淨化後的氣體可直接回用到烘房利用，達到節能減排的目的；

缺點：催化燃燒裝置僅適用含低沸點有機成分、灰分含量低的有機廢氣的處理，對含油煙等粘性物質的廢氣處理則不宜採用，催化劑宜中毒；處理有機廢氣濃度在20％以下。

蓄熱式廢氣處理爐（RTO）

•所需溫度：攝氏800-900度

•低於500ppm的甲苯濃度也可以啟動自燃性系統設計

•可實現與RCO配合使用

適用於大風量、低濃度，適用於有機廢氣濃度在100PPM—20000PPM之間。其操作費用低，有機廢氣濃度在450PPM以上時，RTO裝置不需新增輔助燃料；淨化率高，兩床式RTO淨化率能達到98%以上，三床式RTO淨化率能達到99%以上，並且不產生NOX等二次汙染；全自動控制、操作簡單；安全性高。

優點：在處理大流量低濃度的有機廢氣時，執行成本非常低。

缺點：較高的一次性投資，燃燒溫度較高，不適合處理高濃度的有機廢氣，有很多運動部件，需要較多的維護工作。

圖為RTO（蓄熱式熱力焚燒技術）濃縮及廢熱回收系統，可將低濃度、大風量的VOCs廢氣濃縮為高濃度、小風量的廢氣，然後高溫燃燒，並將儲熱體的熱量重新回收，利用在廢氣預熱和熱轉換裝置上。

回收式熱力焚燒系統

回收式熱力焚燒系統（簡稱TNV）是利用燃氣或燃油直接燃燒加熱含有機溶劑的廢氣，在高溫作用下，有機溶劑分子被氧化分解為CO2和水，產生的高溫煙氣透過配套的多級換熱裝置加熱生產過程需要的空氣或熱水，充分回收利用氧化分解有機廢氣時產生的熱能，降低整個系統的能耗。因此，TNV系統是生產過程需要大量熱量時，處理含有機溶劑廢氣高效、理想的處理方式，對於新建塗裝生產線，一般採用TNV回收式熱力焚燒系統。

TNV系統由三大部分組成：廢氣預熱及焚燒系統、迴圈風供熱系統、新風換熱系統

廢氣焚燒集中供熱裝置的特點包括：有機廢氣在燃燒室的逗留時間為1～2s；有機廢氣分解率大於99％；熱回收率可達76％；燃燒器輸出的調節比可達26∶1，最高可達40∶1。

缺點：在處理低濃度有機廢氣時，執行成本較高；管式熱交換器只是在連續執行時，才有較長的壽命。

七、VOC廢氣處理技術——冷凝回收法

在不同溫度下，有機物質的飽和度不同，冷凝回收法便是利用有機物這一特點來發揮作用，透過降低或提高系統壓力，把處於蒸汽環境中的有機物質透過冷凝方式提取出來。冷凝提取後，有機廢氣便可得到比較高的淨化。其缺點是操作難度比較大，在常溫下也不容易用冷卻水來完成，需要給冷凝水降溫，所以需要較多費用。

這種處理方法主要適用於濃度高且溫度比較低的有機廢氣處理。通常適用於VOC含量高（百分之幾），氣體量較小的有機廢氣的回收處理，由於大部分VOC是易燃易爆氣體，受到爆炸極限的限制，氣體中的VOC含量不會太高，所以要達到較高的回收率，需採用很低溫度的冷凝介質或高壓措施，這勢必會增加裝置投資和處理成本，因此，該技術一般是作為一級處理技術並與其它技術結合使用。

面介紹焚燒工藝工業廢氣治理彙總，涵蓋VOCs處理內容如下：

RTO蓄熱式焚燒爐

排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RTO，三向切換風閥（POPPETVALVE）將此廢氣匯入RTO的蓄熱槽（EnergyRecoveryChamber）而預熱此廢氣，含汙染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱後進入燃燒室（CombustionChamber），VOCs在燃燒室被氧化而放出熱能於第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化後的乾淨氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高於RTO入口溫度。三向切換風閥切換改變RTO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RTO即不需燃料。例如RTO熱回收效率為95%時，RTO出口僅較入口溫度高25℃而已。

蓄熱式催化劑焚燒爐(RCO)

排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RCO，三向切換風閥（POPPETVALVE）將此廢氣匯入RCO的蓄熱槽（EnergyRecoveryChamber）而預熱此廢氣，含汙染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱後進入催化床（CatalystBed），VOCs在經催化劑分解被氧化而放出熱能於第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化後的乾淨氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高於RCO入口溫度。三向切換風閥切換改變RCO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RCO即不需燃料。例如RCO熱回收效率為95%時，RCO出口僅較入口溫度高25℃而已。

催化劑焚燒爐CatalyticOxidizer

催化劑焚燒爐的設計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統風機匯入系統內的換熱器，廢氣經由換熱器管側（Tubeside）而被加熱後，再透過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度，再透過催化劑床，催化分解會釋放熱能，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之後此一熱且經淨化氣體進入換熱器之殼側（shellside）將管側（tubeside）未經處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗，最後，淨化後的氣體從煙囪排到大氣中。

直燃式焚燒爐的設計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統風機匯入系統內的換熱器，廢氣經由換熱器管側（Tubeside）而被加熱後，再透過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度（650~1000℃），並且有足夠的留置時間（0。5~2。0秒）。這時會發生熱反應，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之後此一熱且經淨化氣體進入換熱器之殼側（shellside）將管側（tubeside）未經處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗（甚至於某適當的VOCs濃度以上時便不需額外的燃料），最後，淨化後的氣體從煙囪排到大氣中。

直接燃燒焚燒爐DirectFiredThermalOxidizer-DFTO

有時直接燃燒焚燒爐源於後燃燒器（After-Burner），直接燃燒焚燒爐使用經特別設計的燃燒器以加熱高濃度的廢氣到ㄧ預先設的溫度，於運轉時廢氣被匯入燃燒室（BurnerChamber）。燃燒器將VOCs及有毒空氣汙染物分解為無毒的物質（二氧化碳及水）並放出熱，淨化後的氣體可再由一熱回收系統以達節能的需求。

濃縮轉輪/焚燒爐RotorConcentrator/Oxidizer

濃縮轉輪/焚燒爐系統吸附大風量低濃度揮發性有機化合物（VOCs）。再把脫附後小風量高濃度廢氣匯入焚燒爐予以分解淨化。大風量低濃度的VOCs廢氣，透過一個由沸石為吸附材料的轉輪，VOCs經被轉輪吸附區的沸石所吸附後淨化的氣體經煙囪排到大氣，再於脫附區中用180℃~200℃的小量熱空氣，將VOCs予以脫附。如此一高濃度小風量的脫附廢氣在匯入焚燒爐中予以分解為二氧化碳及水氣，淨化的氣體經煙囪排到大氣。這一濃縮的工藝大大地降低燃料費用。

氯化有機物催化劑焚燒爐

氯化有機物催化劑焚燒爐（ChlorinatedCatalyticOxidizer）系統依風量，汙染物種類及所需去除效率而設計。

在執行操作時，含VOCs的廢氣經氯化有機物催化劑焚燒爐風機抽到系統換熱器中。廢氣透過換熱器的管側，再到燃燒機，此處將廢氣加熱到催化劑反應溫度。含VOCs廢氣透過特製的抗鹵化物毒化的催化劑，轉化成二氧化碳，水氣並放出熱。這熱淨化的氣體透過換熱器的殼側，將熱能加熱浸入系統的廢氣，如此可以將燃料費用降到最小，在許多時候，如VOCs濃度夠高，可以不需額外燃料系統即可自行運轉。最後如有需要，可裝設恩國洗滌塔以去除無機酸（如HCL，CL2，HBr，Br2等）。 氯化氫套裝洗滌塔（HCLScrubberModule），氯化氫套裝洗滌塔出口含HCL或CL2的氣體匯入氯化氫套裝洗滌塔中的驟冷塔，迴圈汞噴注大量的水進入用超合金（Hastelloy）材質的驟冷塔（quenches）。這時水會把熱廢氣降溫並將部分的氯化氫予以吸收，之後經一氣道進入逆流式的吸收塔。迴圈吸收溶液從吸收塔頂部的噴嘴噴灑而下，將剩餘的氯化氫充份吸收，然後透過一除水層把水滴去除，再排到大氣。

自動清理陶瓷過濾系統

自動清理陶瓷過濾系統（Self-cleaningCeramicFilter）系依排風量，汙染物種類和所需補及過濾效率有關。系統操作執行時，排自工藝廢氣（含有冷或熱有機粒狀物/有機凝結物質或VOCs）。被抽引至陶瓷過濾器中。廢氣透過依粒狀物之例徑大小及捕集效率大小而設計選用的陶瓷板，一組燃燒器，間歇或連續加熱此一陶瓷板，使被捕集於此一陶瓷板的有機粒狀物揮發而進到焚燒爐中，任何無機物被燒成無機灰並掉至腔體底部而予以收集。經揮發的有機物導至焚燒爐中（如催化劑式焚燒爐，直燃式焚燒爐）經焚燒轉化為二氧化碳，水氣和熱氣。

熱破壞法

熱破壞法是指直接和輔助燃燒有機氣體，也就是VOC，或利用合適的催化劑加快VOC的化學反應，最終達到降低有機物濃度，使其不再具有危害性的一種處理方法。

熱破壞法對於濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應用。這種方法主要分為兩種，即直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒對有機廢氣的熱處理效率相對較高，一般情況下可達到 99%。而催化燃燒指的是在催化床層的作用下，加快有機廢氣的化學反應速度。這種方法比直接燃燒用時更少，是高濃度、小流量有機廢氣淨化的首選技術。

吸附法

有機廢氣中的吸附法主要適用於低濃度、高通量有機廢氣。現階段，這種有機廢氣的處理方法已經相當成熟，能量消耗比較小，但是處理效率卻非常高，而且可以徹底淨化有害有機廢氣。實踐證明，這種處理方法值得推廣應用。

但是這種方法也存在一定缺陷，它需要的裝置體積比較龐大，而且工藝流程比較複雜；如果廢氣中有大量雜質，則容易導致工作人員中毒。所以，使用此方法處理廢氣的關鍵在於吸附劑。當前，採用吸附法處理有機廢氣，多使用活性炭，主要是因為活性炭細孔結構比較好，吸附性比較強。

此外，經過氧化鐵或臭氧處理，活性炭的吸附效能將會更好，有機廢氣的處理將會更加安全和有效。

生物處理法

從處理的基本原理上講，採用生物處理方法處理有機廢氣，是使用微生物的生理過程把有機廢氣中的有害物質轉化為簡單的無機物，比如CO2、H2O和其它簡單無機物等。這是一種無害的有機廢氣處理方式。

一般情況下，一個完整的生物處理有機廢氣過程包括3個基本步驟：a） 有機廢氣中的有機汙染物首先與水接觸，在水中可以迅速溶解；b） 在液膜中溶解的有機物，在液態濃度低的情況下，可以逐步擴散到生物膜中，進而被附著在生物膜上的微生物吸收；c） 被微生物吸收的有機廢氣，在其自身生理代謝過程中，將會被降解，最終轉化為對環境沒有損害的化合物質。

壓吸附分離與淨化技術

變壓吸附分離與淨化技術是利用氣體組分可吸附在固體材料上的特性，在有機廢氣與分離淨化裝置中，氣體的壓力會出現一定的變化，透過這種壓力變化來處理有機廢氣。

PSA 技術主要應用的是物理法，透過物理法來實現有機廢氣的淨化，使用材料主要是沸石分子篩。沸石分子篩，在吸附選擇性和吸附量兩方面有一定優勢。在一定溫度和壓力下，這種沸石分子篩可以吸附有機廢氣中的有機成分，然後把剩餘氣體輸送到下個環節中。在吸附有機廢氣後，透過一定工序將其轉化，保持並提高吸附劑的再生能力，進而可讓吸附劑再次投入使用，然後重複上步驟工序，迴圈反覆，直到有機廢氣得到淨化。

近年來，該技術開始在工業生產中應用，對於氣體分離有良好效果。該技術的主要優勢有：能源消耗少、成本比較低、工序操作自動化及分離淨化後混合物純度比較高、環境汙染小等。使用該技術對於回收和處理有一定價值的氣體效果良好，市場發展前景廣闊，成為未來有機廢氣處理技術的發展方向。

氧化法

對於有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是最適合的處理技術和方法。氧化法的基本原理：VOC與O2發生氧化反應，生成CO2和H2O，化學方程式如下：

從化學反應方程式上看，該氧化反應和化學上的燃燒過程相類似，但其由於VOC濃度比較低，在化學反應中不會產生肉眼可見的火焰。一般情況下，氧化法透過兩種方法可確保氧化反應的順利進行：a） 加熱。使含有VOC的有機廢氣達到反應溫度；b） 使用催化劑。如果溫度比較低，則氧化反應可在催化劑表面進行。所以，有機廢氣處理的氧化法分為以下兩種方法：

a） 催化氧化法。現階段，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要包括Pt、Pd等，它們以細顆粒形式依附在催化劑載體上，而催化劑載體通常是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填料；非貴金屬催化劑主要是由過渡元素金屬氧化物，比如MnO2，與粘合劑經過一定比例混合，然後製成的催化劑。為有效防止催化劑中毒後喪失催化活性，在處理前必須徹底清除可使催化劑中毒的物質，比如Pb、Zn和Hg等。如果有機廢氣中的催化劑毒物、遮蓋質無法清除，則不可使用這種催化氧化法處理VOC。

b） 熱氧化法。熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在於熱量回收方式。這三種方法均能催化法結合，降低化學反應的反應溫度。

熱力燃燒式熱氧化器，一般情況下是指氣體焚燒爐。這種氣體焚燒爐由助燃劑、混合區和燃燒室三部分組成。其中，助燃劑，比如天然氣、石油等，是輔助燃料，在燃燒過程中，焚燒爐內產生的熱混合區可對VOC廢氣預熱，預熱後便可為有機廢氣的處理提供足夠空間、時間，最終實現有機廢氣的無害化處理。

在供氧充足條件下，氧化反應的反應程度——VOC去除率——主要取決於“三T條件”：反應溫度（Temperat）、時間（Time）、湍流混合情況（Turbulence）。這“三T條件”是相互聯絡的，在一定範圍內，一個條件的改善可使另外兩個條件降低。熱力燃燒式熱氧化器的缺點在於：輔助燃料價格高，導致裝置操作費用比較高。

間壁式熱氧化器指的是在熱氧化裝置中，加入間壁式熱交換器，進而把燃燒室排出氣體的熱量傳送給氧化裝置進口處溫度比較低的氣體，預熱完成後便可促成氧化反應。現階段，間壁式熱交換器的熱回收率最高可達85%，因此大幅降低了輔助燃料的消耗。一般情況下，間壁式熱交換器有三種形式：管式、殼式和板式。由於熱氧化溫度必須控制在800 ℃～1 000 ℃範圍內，因此，間壁式熱交換必須由不鏽鋼或合金材料製成。所以間壁式熱交換器的造價相當高，而這也是其缺點所在。此外，材料的熱應力也很難消除，這是間壁式熱交換的另外一個缺點。

蓄熱式熱氧化器，簡稱為RTO，在熱氧化裝置中計入蓄熱式熱交換器，在完成VOC預熱後便可進行氧化反應。現階段，蓄熱式熱氧化器的熱回收率已經達到了95%，且其佔用空間比較小，輔助燃料的消耗也比較少。由於當前的蓄熱材料可使用陶瓷填料，其可處理腐蝕性或含有顆粒物的VOC氣體。

現階段，RTO裝置分為旋轉式和閥門切換式兩種，其中，閥門切換式是最常見的一種，由2個或多個陶瓷填充床組成，透過切換閥門來達到改變氣流方向的目的。

液體吸收法

液體吸收法指的是透過吸收劑與有機廢氣接觸，把有機廢氣中的有害分子轉移到吸收劑中，從而實現分離有機廢氣的目的。這種處理方法是一種典型的物理化學作用過程。有機廢氣轉移到吸收劑中後，採用解析方法把吸收劑中有害分子去除掉，然後回收，實現吸收劑的重複使用和利用。

從作用原理的角度劃分，此方法可分為化學方法和物理方法。物理方法是指利用物質之間相溶的原理，把水看作吸收劑，把有機廢氣中的有害分子去除掉，但是對於不溶於水的廢氣，比如苯，則只能透過化學方法清除，也就是透過有機廢氣與溶劑發生化學反應，然後予以去除。

冷凝回收法

在不同溫度下，有機物質的飽和度不同，冷凝回收法便是利用有機物這一特點來發揮作用，透過降低或提高系統壓力，把處於蒸汽環境中的有機物質透過冷凝方式提取出來。冷凝提取後，有機廢氣便可得到比較高的淨化。其缺點是操作難度比較大，在常溫下也不容易用冷卻水來完成，需要給冷凝水降溫，所以需要較多費用。這種處理方法主要適用於濃度高且溫度比較低的有機廢氣處理。

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