真空不空之三種真空法蘭規格(CF、KF、ISO）
第一部分：CF法蘭
CF法蘭的英文名是Conflat Flang。它是一種用於超高真空中的法蘭連線，是一種金屬靜密封，可承受高溫烘烤。
公稱直徑尺寸包括：DN16， 40， 63， 100， 160， 200，250
適用的真空度最高達10^-12 mbar
法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等，法蘭通常為304、316不鏽鋼等，具體見下圖所示：
常用CF法蘭的型號和尺寸表
CF法蘭的內側有凸起的鋒利刀口，透過擠壓無氧銅墊圈（或其他軟金屬）使其變形而達到密封真空的目的，是全金屬材料的密封方式，被廣泛應用於超高真空系統中。CF法蘭也常用ICF法蘭來表示，CF後面的數字是標準的導管內徑，而ICF後面的數字是法蘭的外徑。常用CF法蘭的型號和尺寸見表1。
CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結構。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和透過螺栓的固定部分構成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要透過螺栓和螺母固定；開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質主要為 SUS304（或 SUS304L），因為SUS304放出氣體少，加工和焊接比較容易。
表1 常用CF法蘭的型號和尺寸
注：n×d中n為孔的個數，d為孔徑（mm）。
CF法蘭的特點是不分雌雄，包括無氧銅墊圈在內全部由金屬構成，因此可以承受高溫（250℃以上）烘烤。其缺點是價格高，無氧銅墊圈不能多次重複使用。
CF法蘭的安裝
CF法蘭的安裝要求較高。因為無氧銅墊圈被擠壓後會變形，所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻，會使對角位置的法蘭翹起，以至於漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓100kgf·cm。
CF法蘭使用注意事項
CF法蘭使用時有幾個注意點：螺栓一定要塗抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死；法蘭外周要對齊；法蘭面要保持一點距離，為烘烤後繼續上緊螺栓留出餘地。
CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實現真空密封。長期使用，刀口會逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞後刀口容易受傷。這時的補救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口外周的斜面來密封。
第二部分：KF法蘭
ISO-KF
ISO-KF是應用在真空系統中的一種快卸法蘭。他由以下幾個元件構成：兩個成對稱分佈的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具，只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以鬆開或壓緊聯接。
ISO-KF真空接頭是小尺寸的快裝法蘭接頭。公稱直徑尺寸包括：DN 10， 16， 25， 40， 50。
製造標準包括：DIN 28403，ISO 2861
適用的真空度最高達10-8 mbar。
法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁等
法蘭通常為304、316不鏽鋼等
ISO-KF 真空接頭通常由法蘭（flang）、快夾（clamp）、密封圈（O-Ring）、中心定位環 （centering ring） 組成，見下圖。
1—CF/NW 轉接法蘭；2—卡箍；3—中心支架；4—O形橡膠圈；5—NW 轉接法蘭
小口徑管路用橡膠圈密封真空法蘭，被稱為NW（或KF）法蘭，廣泛用於低、中和高真空系統中。其特點是可多次重複使用、操作簡單、經濟實惠。但是，NW 法蘭有兩個大的問題點：一個是在裝置烘烤時耐熱程度有限；另一個是氫氣、氦氣的透氣問題。
使用NW 法蘭時，兩個 NW 法蘭中間安裝有外套O形橡膠圈的中心支架，外側透過卡箍可簡單實現快速的安裝和拆卸（圖1）。使用氟橡膠圈的時候，烘烤溫度一般可達150℃。
NW盲板法蘭的主要型號和尺寸
第三部分：ISO法蘭
ISO法蘭和配管可用於從大氣壓到高真空，經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm（2英寸）。如果使用氟橡膠O形圈，可以承受150℃烘烤。
ISO法蘭常用的兩種形式是ISO-K和ISO-F
ISO-K和ISO-F真空接頭是大尺寸的真空接頭，公稱直徑尺寸包括：DN 63， 100， 160， 200， 250， 320， 400， 500 和630
製造標準包括：DIN 28404 ，ISO 1609
可應用在要求真空度高達10-8 mbar的場合。
法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁絲等
法蘭通常為304、316不鏽鋼等
a、ISO-K真空接頭通常由法蘭（flang）、法蘭爪（clamp）、密封圈（O-Ring）、中心定位環 （centering ring） 組成，見下圖。
b、ISO-F真空接頭通常由法蘭（flang）、密封圈（O-Ring）、中心定位環 （centering ring） 組成，與ISO-K不同的地方是法蘭用螺栓堅固。見下圖。
ISO法蘭是口徑範圍大的O形橡膠圈密封真空法蘭，其主要型號和尺寸見表1。
表1 ISO法蘭的主要型號和尺寸
注：n×d中n為孔的個數，d為孔徑（mm）
